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ACCRETECH(東京精密)的半自動劃片機在多個需要高精度切割的領域都有著廣泛應用。它主要通過在晶圓或其他脆性材料上進行精準的切割,將它們分割成獨立的芯片或單元。
以下是它的一些主要應用領域:
應用領域 | 典型場景與價值 |
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半導體集成電路制造 | 將完成前端工藝的晶圓切割成單個芯片(Die),用于CPU、存儲器、各種集成電路和傳感器等芯片的封裝前道工序。 |
光電子器件與通信 | 加工光纖耦合器、光隔離器、環形器、光衰減器等器件的基板。對鈮酸鋰、鉭酸鋰等磁光材料實現無應力切割,避免晶體結構損傷,保障器件單向傳輸性能。 |
先進封裝 | 如QFN/DFN封裝、Fan-Out(扇出型封裝)、Chiplet(小芯片)、2.5D/3D集成等需要晶圓級切割的工藝。 |
微電子機械系統(MEMS) | 切割敏感的MEMS傳感器(如加速度計、陀螺儀、壓力傳感器)晶圓,這些器件通常結構脆弱,對切割的精度和應力控制要求。 |
LED與顯示器件制造 | 切割LED晶圓(如Mini-LED、Micro-LED)、OLED顯示面板等。 |
陶瓷、玻璃與硬脆材料加工 | 切割氧化鋁、氮化鋁等陶瓷基板(廣泛應用于功率器件散熱和電子封裝)、石英玻璃、硅玻璃、藍寶石玻璃(用于光學窗口、蓋板等)以及其他工業用硬脆材料薄片。 |
?? 選型與使用注意事項
選擇和使用半自動劃片機時,有幾個關鍵點需要考慮:
物料特性:不同的材料(如硅、GaAs、玻璃、陶瓷)其硬度和脆性不同,需要匹配不同材質和粒度的刀片,以及調整切割參數(轉速、進給速度)。
精度要求:根據芯片尺寸和切割道寬度,選擇能滿足精度(如±1μm以內)和崩邊控制要求的機型。
產能與自動化:"半自動"意味著在上下料、對位等環節需要人工操作,適合小批量、多品種的研發或生產場景。如果追求大批量生產的效率,則需要考慮全自動機型。
冷卻與清潔:切割過程中通常需要去離子水進行冷卻和沖洗,以防止熱損傷并清除碎屑,保持切割質量。
操作人員培訓:半自動設備需要操作人員具備一定的經驗,能夠進行對刀、設定參數和日常維護。
?? 總結
ACCRETECH東京精密的半自動劃片機是半導體、光電子、先進封裝等領域中的精密加工設備。它特別適合那些對精度要求高、但產能需求尚未達到全自動化水平的研發中心、試產線或特殊工藝生產線。