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ACCRETECH東京精密的高性能探測機(以AP3000系列為代表)是半導體制造與測試領域的關鍵設備,其在以下應用領域發揮著核心作用,闡述如下:
半導體晶圓電性測試
探測機主要用于半導體晶圓的電性參數測試與性能驗證。它通過精密的探針卡(Probe Card)與晶圓上的芯片焊墊(Pad)或凸塊(Bump)形成可靠的電性接觸,實現對每個芯片(Die)的直流(DC)、交流(AC)、高壓、大電流等電性信號的施加與測量。這一過程確保了半導體器件在封裝前的功能性和可靠性,是提升產品良率的關鍵環節。
功率器件與特殊器件測試
搭載功率器件測量系統Fortia,支持對功率半導體(如IGBT、MOSFET等)從直流測量(大電流、高耐壓)到動態參數(如雪崩耐受性)的無縫測試。該系統提供廣泛的溫度測試范圍(從低溫到超高溫),滿足汽車電子、工業控制等領域對高性能功率器件的嚴苛測試需求。
先進封裝與復雜結構測試
支持切割后仍附著在切割框架上的晶圓(如晶圓級封裝)以及封裝器件的測試。通過高精度的校正技術,設備能應對復雜結構的測試挑戰,實現真正的一體化多功能測試。
智能制造與數據管理
集成探測機網絡系統(如VEGANET, LIGHTVEGA, GEM Network System, VEGA PLANET),實現測試數據的實時采集、分析及云端管理,賦能智能制造。該系統支持生產數據的全程可追溯性,符合工業4.0對智能化、網絡化和高可靠性的要求。
高精度、高吞吐量量產測試
憑借高剛性結構、低振動設計和高速運行技術,探測機在保證超微米級定位精度的同時,顯著提升了測試吞吐量。其自動晶圓處理(Handling)、對準(Alignment)和索引移動(Index Move)技術能高效完成大批量晶圓的測試任務,滿足現代化晶圓廠對效率和產能的追求。
ACCRETECH東京精密的探測機通過其精密機械、自動控制、電性測量與信息技術的深度融合,廣泛應用于半導體前道測試、功率器件驗證、先進封裝測試等領域,是保障半導體產品質量、提升生產效能及推動技術創新的關鍵設備。